0
預約諮詢
前往廠商- 紅外線輻射熱能快速升溫，縮短乾燥/固化時間。
- 紅外線三大特性，穿透、反射、吸收，特定材料固化效果佳。
- 無需加熱整個空間，僅針對Wafer表面加熱，降低能耗。
- 與傳統熱風乾燥相比，能源消耗可減少 30%。
- 紅外線穿透物料內外部同步加熱，有別於熱風乾燥方式。
- 可根據材料特性選擇紅外線波長，以達到最佳吸收效果。
- 真空環境中氧氣含量低，防止晶圓在高溫生產過程被氧化。
- 被烘烤物除泡能力優於大氣行熱風烤箱。
- 多段烘烤配方及參數，多段溫度、真空壓力控制精確。
- 9區獨立控制系統，確保各個晶圓溫度均勻乾燥。
全站搜尋 預約諮詢
快速瀏覽
0