全自動無人化運作，6軸機器手臂自動移載光罩及護膜自動移除護膜保護膠膜，對位護膜並將之貼合到光罩上超高潔淨度及精密度，並具備超音波清潔裝置清潔光罩及光罩護膜AOI自動光學檢查光罩及護膜外觀、瑕疵、位置、貼合精度
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